武汉真空机组电话

(1)扩散泵**高真空机组

以扩散泵为主泵的**高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。

为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的**高真空。

(2)分子泵**高真空机组

以分子泵为主泵的**高真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以增大抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。

(3)无油**高真空机组

不用油做工作液和不用**材料密封的真空机组称为无油**高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:

可获得清洁真空、无污染源;

当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;

如突然抽气停止，不会污染系统;

无油、无声、无振动，改善了工作环境;

极限真空度高，抽速大，抽气时间短。

故障现象故障原因、处理办法：

真空度低：泵油污染、过少或过稀，清洗真空泵，更换新真空泵油。

抽气时间太短：延长抽气时间。

抽气过滤器堵塞：清洗或更换排气过滤器。

有漏气处：抽空后关闭电源，检查电磁阀、管接头、真空泵吸气阀及工作室周边密封垫有无漏气处。

噪音大：真空泵联轴器磨损或破裂，更换。

排气过滤器堵塞或安装位置不正：清洗或更换排气过滤器并安装正确。

有漏气处：检查电磁阀是否有漏气并排除。

真空泵喷油：吸气阀O型圈脱落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽气嘴，取出压簧和吸气阀，轻轻拉伸O型圈几次，重新将其嵌入凹槽内，再安装即可。

旋片磨损：更换旋片。

真空泵漏油：回油阀堵塞，卸下回油阀，清洗(详见说明书)。

油窗松动：放油后，卸下油窗，缠上生料带或薄塑料薄膜。

真空泵油烟大：抽气过滤器堵塞或污染，清洗或更换排气过滤器。

泵油污染：更换新油。

回油阀堵塞：清洗回油阀(详见说明书)。

不加热：加热条烧断，更换加热条。

加热时间继电器烧坏(开机即两灯同时亮，OMRON灯颜色为黄色)： 更换时间继电器。

加热线烧断：更换加热线，并安装牢固。

控制加热温度波段开关接触不良：修复或更换。

控制加热的交流接触器不复位：修复(用气流吹去异物)或更换。

加热变压器坏：更换。

加热不停止：加热时间继电器接触不良或烧坏，调整时间继电器与插座接触或更换。

控制加热交流接触器不复位：修复或更换。

封口不平、不紧或不封口：钢盒变形，调整钢盒加热时间与加热温度未调好，调整至合适。

加热布上有附着物：用指甲轻轻刮去附着物。

加压电磁阀不动作：清洗或更换电磁阀。

气囊破损：更换气囊。

加压气管破损：修理或更换。

不放气：冷却时间继电器坏(电器箱内) 更换时间继电器。

放气阀线路断路：查找并接好。

放气阀粘住或烧坏：拆下清洗或更换。

一边加热，一边不加热：不加热一边的包装袋压条与加热装置短路(一般与铜焊片短路) 调整铜焊片位置，或休整包装袋袋压条。

泵转不抽真空：工作室未盖严，将工作室盖严。

电机反转： (注意不要换地线，花色线为地线)

保险断(指示灯亮) ：更换相同规格保险。

合盖不工作：没有电源，查看有无电源。

行程开关未动作：调整行程开关拨片。

频繁烧保险：有短路处，查找并排除。

电机反转时间过长：任意两相电源线调换安装(地线除外) 。

排气过滤器堵塞：清洗或更换。

油粘度太高：清洗泵并换油。

保险盒内拨片有短路处：修复。

跑袋：加压阀坏或堵塞，更换或清洗加压阀。

加压气路通气不畅：理顺疏通加压气路。