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1、应安装在明亮少尘的通风性能好的建筑物内，环境温度为5-40℃。
2、周围应留有充足的空地，便于日常检查维修保养。
3、出厂时一般已安装在机架上，用户须浇制混凝土基础，并在混凝土中埋进固定机组螺栓（一般用膨胀螺栓）基础平面要求水平。
4、将就位固定后，连接管路、管道通径不得小于泵进出气口通径，管道内无任何焊渣、杂质等异物，主泵进气口上方与系统连接管路中应安装阀门，使真空机组与系统隔开，系统允许的总漏率应≤10PaL/S。
5、当抽除气体中含有颗粒物时必须在主泵上方的管道中加装过滤装置。
6、当抽除气体中带有较强腐蚀性时（PH≤5）,必须在主泵上方的管道中加装中和装置。
7、的水环泵出气口的管道应尽量短，管道通径等于出口通径，要求弯头少（一般不**过3个）排水管连接高度不得**0.5米。
8、接好用进水管，管路上应有阀门以便控制泵的进水量，进水管通径采用1/2水管为宜，水压为0.1MPa-0.2MPa为宜，水源以清洁的自来水或井水为宜。
9、的电气控制柜应安装在适当位置，便于操作，如果用户自配电气控制柜，则要根据的工作程序进行设计安装，各泵的转向符合规格要求。（出厂时个泵均有转向箭头，不得反转）电气设备必须具有互锁及自动保护装置，要求工作可靠安全。

(1)扩散泵**高真空机组
以扩散泵为主泵的**高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的**高真空。
(2)分子泵**高真空机组
以分子泵为主泵的**高真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以增大抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油**高真空机组
不用油做工作液和不用**材料密封的真空机组称为无油**高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
可获得清洁真空、无污染源;
当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止，不会污染系统;
无油、无声、无振动，改善了工作环境;
极限真空度高，抽速大，抽气时间短。

1.1操做人员一定要熟读飞鲁配备的产品使用说明书。
1.2在产品使用前确保在产品没有因长时间放置由环境因素导致产品产生的因素。
1.3在工作中如发现异常声响和振动时应停机排查。
1.4电气设备外壳必须接地或接零。
2、开机前的准备
2.1检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。
2.2检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影冲泵使用寿命。
2.3检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，如出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。
2.4检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。
2.5检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。
2.6检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。
2.7检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。
2.8待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。
3、运转注意事项
3.1真空机组在运转过程中声响应均匀，无杂音且运行中无不规则的异常震动。
3.2注意电动机负荷和泵的各部位温升情况，在正常情况下，泵的较高温升不得**过40℃，工作较高温度不得**过80℃。
3.3在工作中如发现有漏油时，应立即停止工作，泄压后进行检查、修理。不允许在发现漏油的现象之后，仍继续进行工作或带压进行检修。
3.4在工作中必须保证循环冷却水的正常进出。
4、真空机组启动
4.1打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常。
4.2关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常（电机及泵发出噪声均衡）后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。
4.3待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如过采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。
4.4如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。
5、真空机组停机
5.1将真空机组控制柜上控制手柄打入手动挡，关闭罗茨真空泵的吸气口阀门，与真空系统隔断。
5.2按主泵、中间泵前级水冲泵次序，逐级停泵，严禁搞错停机程序。
5.3在停前级水冲泵时，先打开水冲泵缓冲罐排污阀门，后停泵关机。
5.4关闭循环冷却水的进出口阀门。
5.5打开中间泵下缓冲罐排污阀门，清除其内的油污和冷凝积水。
5.6如长时间停止使用或在严寒季节，停车后排净水冲泵箱体内存水，旋开水冲泵泵体排水堵头将存水排净，避免冻裂箱体、泵体；同样罗茨真空泵需将泵体水套内的冷却水放出避免冻裂。